Aus den Besprechungen: "Die Qualitat dieses Werkes lasst es ... notwendig erscheinen, einiges mehr zu ihm zu sagen. Seine Starke besteht namlich darin, dass die Grundlagen immer von unterschiedlichen Gesichtspunkten aus behandelt werden. So wird das Bandermodell von den Eigenfunktionen wechselwirkender Atome, aus der Schrodinger-Gleichung und uber die Pseudopotentialmethode anschaulich eingefuhrt. Bedeutsam ist, dass dies auf unterschiedlichem Niveau erfolgt. Dadurch werden die gegenseitige Bedingtheit und die Besonderheiten der Methoden noch deutlicher. Insgesamt werden auf diese...

Innerhalb von etwa 20 Jahren seit dem Erscheinen der erst en integrier ten Schaltungen auf dem Markt erreicht die MOS-Technik heute den hochsten Grad der Integration in der Halbleitertechnik. Die Griinde fiir diese stiirmische Entwicklung sind neben der Moglichkeit, MOS-Tran sistoren sehr dicht zu packen, auch das einfache Prinzip und der ein fache Aufbau des MOS-Transistors. Der Zweck dieses Buches ist es, einen Uberblick iiber die MOS-Technik sowie die mit ihr verbundenen Moglichkeiten zu geben. Es wendet sich gleichermaBen an den Technologen wie an den Schaltungsingenieur, die gemeinsam...

Das Buch beschreibt die Konzepte siliziumbasierter MOS-Bauelemente fur Logikanwendungen (CMOS), Speicheranwendungen (DRAM, SRAM, EEPROM) und leistungselektronische Anwendungen. Der Autor untersucht die Quellen, die in den vergangenen 30 Jahren diskutiert wurden. Er beschreibt, wie die einzelnen Konzepte technologisch umgesetzt wurden und geht auf die Vor- und Nachteile der Konzepte ein. Er erlautert die Funktionsweise und Charakteristiken der elektronischen Bauelemente, die mit dem jeweiligen Konzept realisiert wurden.

Das Buch ist besonders geeignet fur Ingenieure und Physiker, die...

Halbleiterbauelemente sind fUr technische Zwecke bestimmt. Zum Verstiindnis ihrer Wirkungsweise braucht man aber ein umfangreiches Arsenal physikalischer Begriffe und Tatbestiinde. Es ist also recht verstiindlich, daB die Anregung zu ei ner Vorlesung iiber Gleichrichter und Thyristoren aus einem Institut fUr ange wandte Physik kam. Diese Vorlesung habe ich dann im Winter 1977178 in Erlan gen gehalten. Das vorliegende Buch ist aus dem Vorlesungstext entstanden. Bereits die HersteIlungsprozesse des Ausgangsmaterials, der SiliziumkristaIle also, sind langwierig und kompliziert. Das gilt erst...

Der Thyristor ist ein Halbleiterbauelement mit einer pnpn Struktur, Bild I. Er vermag bei positiver Spannung zwi schen der auBeren p-Zone (Anode) und der auBeren n-Zone (Kathode) zwei stabile Zustande anzunehmen, einen sperren den und einen leitenden. Seine Strom-Spannungs-Kennlinie, Bild II, weist dementsprechend bei dieser Polaritat einen Sperrbereich und einen DurchlaBbereich auf. Diese Eigen schaft wird zum Schalten von Strom ausgenutzt. Urn den Thyristor vom sperrenden in den leitenden Zustand zu bringen, muB der Strom grundsatzlich tiber einen gewis sen Schwellwert angehoben werden. Das...

Obwohl optoelektronische Effekte in der Physik und den Ingenieurwis senschaften schon lange eine wichtige Rolle spielen, ist die Halbleiter optoelektronik noch ein relativ neues Gebiet, das erst in den letzten 10 Jahren einen groBen Aufschwung genommen hat. Inzwischen haben jedoch die optoelektronischen Halbleiterbauelemente nicht nur einen festen Platz im Lieferprogramm nahezu aller Halbleiterbauelemente-Her steller gefunden, vielmehr ist die wirtschaftliche Wachstumsrate dieser Bauelemente zur Zeit die hochste unter allen Einzelhalbleitern und wird nur von der der integrierten Schaltungen...

Will man heute ein Buch uber integrierte Schaltungen schreiben, das einen rela tiv beschrankten Umfang haben soll, so steht man vor einer fast unlosbaren Auf gabe. Die tiefere Ursache hierfur liegt darin, dass diese Halbleiterbausteine ei nem rapiden Entwicklungsprozess unterworfen sind und dass sich ihr Anwen dungsbereich immer weiter ausdehnt. Eine Folge davon ist, dass es bereits heute eine Fulle von Schaltungen gibt, deren Spektrum z. B. in der Digitaltechnik von einfachen Gatterbausteinen bis zu kompletten Mikrocomputern reicht. Um auch nur die wichtigsten Schaltungen behandeln zu...

Die MeB- und PrUftechnik fUr Halbleiterbauelemente umfaBt die Methoden zur Messung elektrischer Funktionen, deren verglei chende Auswertung und die verschiedenen normierten PrUfvor schriften. Damit unterstUtzt die MeB- und PrUftechnik zunachst die Bauelementeentwicklung, sichert bei der Produktfertigung Ausbeute, Qualitat und Zuverlassigkeit und erlaubt dem Anwen der die Auswahl und die Funktionskontrolle der Bauelemente nach standardisierten Verfahren. Dieses methodisch eigenstandige Gebiet der Halbleiterelektronik wird selbst bei den Bauelement-orientierten Darstellungen meist nur am Rande...

Nachdem sich der Band .Optoelektronik I mit der Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung durch Strominjektion in speziel len Halbleiterbauelementen befaBt hat, beschaftigen sich die beiden Folgebande Optoelektronik II und III umgekehrt mit de Umwandlung elektromagnetischer Strahlung bzw. energetischer Teilchen in elektrische Energie mit Halbleiterbauelementen. Die allgemein als Strahlungsempfanger bzw. -detektoren bezeich neten Bauelemente finden hauptsachlich Anwendung - beim Nachweis bzw. bei der Messung von elektromagnetischer Strahlung oder von Teilchen. Bei diesen Anwendungen wird ein...

Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle, modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen...