Die MeB- und PrUftechnik fUr Halbleiterbauelemente umfaBt die Methoden zur Messung elektrischer Funktionen, deren verglei chende Auswertung und die verschiedenen normierten PrUfvor schriften. Damit unterstUtzt die MeB- und PrUftechnik zunachst die Bauelementeentwicklung, sichert bei der Produktfertigung Ausbeute, Qualitat und Zuverlassigkeit und erlaubt dem Anwen der die Auswahl und die Funktionskontrolle der Bauelemente nach standardisierten Verfahren. Dieses methodisch eigenstandige Gebiet der Halbleiterelektronik wird selbst bei den Bauelement-orientierten Darstellungen meist nur am Rande...