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Mikrosystemtechnik Auf Silizium
ISBN: 9783519061588 / Niemiecki / Miękka / 1995 / 229 str. Termin realizacji zamówienia: ok. 20 dni roboczych. Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Prozess technik haben andere Materialien weitgehend verdrangt. Dagegen ist das Halbleitermaterial Silizium fur Anwendungen der Integrierten Optik bislang wegen seiner ungunstigen optischen Eigen schaften nur unzureichend beachtet worden. Erst die Mikrosystemtechnik hat zur Entwicklung einer geeigneten Integrationstechnik gefuhrt, um die "Mechatronik" um integriert-optische Komponenten zu erweitern....
Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen schaften und...
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cena:
180,81 zł |
Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices
ISBN: 9783658410407 / Angielski Termin realizacji zamówienia: ok. 20 dni roboczych. The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET...
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interac...
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cena:
251,74 zł |
Silizium-Halbleitertechnologie
ISBN: 9783519001492 / Niemiecki / Miękka / 1995 / 280 str. Termin realizacji zamówienia: ok. 20 dni roboczych. Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universitat Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Prozesstechnik berucksichtigen zu konnen, ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra tionstechniken erweitert worden. Ziel dieses Buches ist es, den Studenten der Elektrotechnik, Informatik, Physik, aber auch den Schaltungstechnikem und den Ingenieuren in der...
Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemes...
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cena:
180,97 zł |
Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik
ISBN: 9783658234430 / Niemiecki / Miękka / 2019 / 275 str. Termin realizacji zamówienia: ok. 20 dni roboczych. |
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cena:
126,66 zł |
Silizium-Halbleitertechnologie
ISBN: 9783658423773 / Niemiecki / Miękka / 2023 Termin realizacji zamówienia: ok. 20 dni roboczych. Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden -...
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Siliziu...
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cena:
144,75 zł |
Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
ISBN: 9783835100039 / Niemiecki / Miękka / 2006 / 274 str. Termin realizacji zamówienia: ok. 20 dni roboczych. Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich...
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbau...
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cena:
137,51 zł |