Grundlagen Zur Entwicklung Reinraumtauglicher Handhabungssysteme

ISBN-13: 9783540519591 / Niemiecki / Miękka / 1989 / 124 str.

Jurgen Geiainger

Opis

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinraumen stattfinden, gewinnt aus Grunden der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veroffentlichung wird eine Messmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Messmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezuglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefasst. Mit deren Anwendung ist es moglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Messmethodik zur Verfugung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es moglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen."

Spis treści

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Reinraumtechnologie.- 2.1.2 Reinheitsklassen.- 2.1.3 Reinraum.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.2.1 Partikelmessung.- 2.2.1.1 Aufgaben der Partikelmessung.- 2.2.1.2 Partikelmeßtechnik.- 2.2.1.3 Methode bei der Partikelmessung.- 2.2.2 Ursachen der Partikelkontamination.- 2.2.3 Maßnahmen zur Kontaminationsminimierung.- 2.2.4 Analyse im Reinraum eingesetzter Handhabungssysteme.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Untersuchungsinhalte als Folgerung aus der Analyse der Ausgangssituation.- 3.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Meßmethode zur Erfassung der Partikelemission von Handhabungssystemen.- 4 Entwicklung einer Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen bei Handhabungssystemen.- 4.1 Auswahl der Partikelmeßgeräte.- 4.2 Aufbau von Prüfständen zur Untersuchung von Handhabungskomponenten.- 4.2.1 Prüfstand zur Untersuchung angetriebener Komponenten.- 4.2.2 Prüfstand für Strömungsuntersuchungen.- 4.2.3 Prüfstand zur Untersuchung nicht angetriebener Komponenten.- 4.3 Erarbeitung der Meßmethode.- 4.3.1 Bestimmung des zu untersuchenden Bereiches der Handhabungssysteme durch Strömungsanalyse.- 4.3.2 Bestimmung der Partikelausbreitung.- 4.3.3 Umfang der Probenahmen zur Erfassung aller Partikelquellen des zu untersuchenden Systems.- 4.3.4 Optimierungsschritte zur Bestimmung des erforderlichen Umfangs der Probenahmen.- 4.3.4.1 Anzahl der Meßebenen.- 4.3.4.2 Abstand der Meßpunkte im Meßraster.- 4.3.4.3 Anzahl der Probenahmen je Meßpunkt.- 5 Untersuchung der Partikelemission von Handhabungskomponenten.- 5.1 Untersuchungsablauf.- 5.2 Partikelmessungen an Baugruppen.- 5.2.1 Antriebe.- 5.2.2 Antriebsübertragungselemente.- 5.2.3 Führungen.- 5.3 Partikelanalyse an Baugruppen.- 5.4 Untersuchung von Modifikationen an Verfahrachsen von Handhabungssystemen.- 6 Ableitung von Richtlinien zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme.- 6.1 Erstellung des Anforderungsprofiles.- 6.2 Richtlinien zur Konzeption und Integration von Reinraumhandhabungssystemen.- 6.3 Richtlinien zum Entwurf von Reinraumhandhabungssystemen.- 7 Umsetzung und Erprobung der Erkenntnisse an einem Praxisbeispiel.- 7.1 Anforderungskatalog für das zu entwickelnde Handhabungssystem.- 7.2 Konstruktiver Aufbau der realisierten Lösung.- 7.3 Test und Modifikation des Prototyps im Reinraum.- 7.3.1 Strömungsanalyse.- 7.3.2 Partikelmessungen.- 7.4 Bewertung der Anwendungsmöglichkeit der Richtlinien sowie der Meßmethode.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Schrifttum.