Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinraumen stattfinden, gewinnt aus Grunden der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veroffentlichung wird eine Messmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Messmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezuglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die...