Fiabilité Des Micro-Interrupteurs En Technologie Mems » książka
Fiabilité Des Micro-Interrupteurs En Technologie Mems
ISBN-13: 9786131537653 / Francuski / Miękka / 2018 / 264 str.
L'amelioration, en termes de performances et de fiabilite, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus large industrialisation. Les travaux presentes dans cet ouvrage s'inscrivent dans le cadre d'une collaboration entre Schneider Electric et le CEA-Leti dont a resulte un micro-interrupteur MEMS a la fiabilite superieure a l'etat de l'art mondial. Cet ouvrage presente alors une etude des mecanismes de defaillances du contact electrique de ce composant, suivie du developpement d'un banc de test permettant d'evaluer l'endurance de nouveaux materiaux de contact. Une etude des mecanismes d'etablissement et d'interruption du courant lorsque l'espace inter-contacts est reduit a quelques dizaines de nanometres est ensuite presentee. L'utilisation d'un microscope a force atomique a pointe conductrice a permis de simuler a vitesse reduite l'actionnement d'un micro-contact et a permis de mettre en evidence un phenomene de transfert de matiere se produisant lors des derniers instants precedant la fermeture du contact. L'ensemble de ces travaux est alors utilise pour definir les regles de conception d'un micro-contact fiable.
Lamélioration, en termes de performances et de fiabilité, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus large industrialisation. Les travaux présentés dans cet ouvrage sinscrivent dans le cadre dune collaboration entre Schneider Electric et le CEA-Leti dont a résulté un micro-interrupteur MEMS à la fiabilité supérieure à létat de lart mondial. Cet ouvrage présente alors une étude des mécanismes de défaillances du contact électrique de ce composant, suivie du développement dun banc de test permettant dévaluer lendurance de nouveaux matériaux de contact. Une étude des mécanismes détablissement et dinterruption du courant lorsque lespace inter-contacts est réduit à quelques dizaines de nanomètres est ensuite présentée. Lutilisation dun microscope à force atomique à pointe conductrice a permis de simuler à vitesse réduite lactionnement dun micro-contact et a permis de mettre en évidence un phénomène de transfert de matière se produisant lors des derniers instants précédant la fermeture du contact. Lensemble de ces travaux est alors utilisé pour définir les règles de conception dun micro-contact fiable.
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