L'amelioration, en termes de performances et de fiabilite, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus large industrialisation. Les travaux presentes dans cet ouvrage s'inscrivent dans le cadre d'une collaboration entre Schneider Electric et le CEA-Leti dont a resulte un micro-interrupteur MEMS a la fiabilite superieure a l'etat de l'art mondial. Cet ouvrage presente alors une etude des mecanismes de defaillances du contact electrique de ce composant, suivie du developpement d'un banc de test permettant d'evaluer l'endurance de nouveaux materiaux de...
L'amelioration, en termes de performances et de fiabilite, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus larg...