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Etude Du Problème Inverse En Scatterométrie
ISBN-13: 9786131527296 / Francuski / Miękka / 2018 / 272 str.
La scatteromA(c)trie est une mA(c)thode de mesure non destructive basA(c)e sur la mesure et l''interprA(c)tation des phA(c)nomA]nes de diffraction des structures pA(c)riodiques. Le traitement des donnA(c)es et l''extraction des paramA]tres gA(c)omA(c)triques des structures A(c)tudiA(c)es constituent le problA]me inverse A rA(c)soudre. L''utilisation d''algorithmes de minimisation locale permet d''effectuer l''ajustement des donnA(c)es expA(c)rimentales sous certaines hypothA]ses statistiques. L''ensemble des A(c)tudes thA(c)oriques et expA(c)rimentales a mis en A(c)vidence que la scatteromA(c)trie permet de mesurer les profiles de rA(c)seaux mono- et bi-pA(c)riodiques compatibles avec les spA(c)cifications des futures circuits intA(c)grA(c)s. NA(c)anmoins, seuls certains paramA]tres gA(c)omA(c)triques de la structure diffractantes sont susceptibles d''Aatre mesurA(c)s dans des conditions expA(c)rimentales standard. Cette mA(c)thode de mesure apparaA(R)t aussi Aatre robuste vis-A -vis des dA(c)fauts et des inhomogA(c)nA(c)itA(c)s du rA(c)seau et est bien corrA(c)lA(c)A(c) avec les mA(c)thodes de mesure couramment utilisA(c)es dans en microA(c)lectronique (MEB, AFM). On peut noter que la prA(c)cision des indices optiques des matA(c)riaux constitue l''une des clA(c)s de la fiabilitA(c) de la mesure.
La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et linterprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et lextraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. Lutilisation dalgorithmes de minimisation locale permet deffectuer lajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. Lensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles dêtre mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue lune des clés de la fiabilité de la mesure.
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