La scatteromA(c)trie est une mA(c)thode de mesure non destructive basA(c)e sur la mesure et l''interprA(c)tation des phA(c)nomA]nes de diffraction des structures pA(c)riodiques. Le traitement des donnA(c)es et l''extraction des paramA]tres gA(c)omA(c)triques des structures A(c)tudiA(c)es constituent le problA]me inverse A rA(c)soudre. L''utilisation d''algorithmes de minimisation locale permet d''effectuer l''ajustement des donnA(c)es expA(c)rimentales sous certaines hypothA]ses statistiques. L''ensemble des A(c)tudes thA(c)oriques et expA(c)rimentales a mis en A(c)vidence que la...