In der vorliegenden Arbeit werden Texturgradienten an CrN-Schichten gemessen. Dafur wurden 3 Schichten CrN zu je 5 um mit einer Biasspannung von -40 V, -120V bzw. -40V durch Magnetronsputtern auf ein Stahlsubstrat abgeschieden. Die Textur wird durch direkte und indirekte Polfiguren dargestellt. Das ermoglicht die Berechnung der Orientierungsverteilungsfunktion aus dem am Synchrotron gemessenen Debye-Scherrer-Ringen. Die Auswertung zeigt eine 001 Orientierung an der Grenzschicht zum Substrat. Mit weiterer Entfernung zum Substrat geht die 001 Orientierung in eine 101 Orientierung uber, bis sich...