Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Grunden eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhohung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhohen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches...