Ce projet prA(c)sente le design, la simulation et la fabrication des capacitA(c)s variables A A(c)lectrodes fragmentA(c)es (AlSi) qui se dA(c)placent latA(c)ralement A l'aide d'actionneurs A(c)lectrothermique et A(c)lectrostatique. Tous les composants passifs MEMS sont rA(c)alisA(c)s A de faibles tempA(c)ratures (compatible 'Above-IC'), en utilisant, une couche sacrificielle polyimide, 4 um d'AlSi comme couche structurelle et du cuivre A(c)pais. Pour augmenter la variation de capacitA(c), nous nous sommes concentrA(c) sur la variation de surface. Ces solutions A(c)vitent l'effet 'pull-in'...