Diplomarbeit aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Physik - Experimentalphysik, Note: 1,8, Technische Universitat Bergakademie Freiberg, Sprache: Deutsch, Abstract: Die Grundlage in der Mikroelektronik spielen Halbleiterbaumaterialien, die sich fur ihr jeweiliges Einsatzgebiet aufgrund ihrer diesbezuglichen hervorragenden Eigenschaften auszeichnen. In der vorliegenden Arbeit richtet sich das Augenmerk auf eine optische Charakterisierungsmethode, die Photolumineszenz (PL). Mit ihr konnen u. a. Einflusse verschiedener Prozessschritte (z. B. Tempern der Probe) und mikroskopischer Strukturen (z.B....
Diplomarbeit aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Physik - Experimentalphysik, Note: 1,8, Technische Universitat Bergakademie Freiberg, Sprache: Deutsch, ...
Denise Reichel studies the delicate subject of temperature measurement during lamp-based annealing of semiconductors, in particular during flash lamp annealing. The approach of background-correction using amplitude-modulated light to obtain the sample reflectivity is reinvented from rapid thermal annealing to apply to millisecond annealing. The author presents a new method independent of the lamp operation to obtain this amplitude modulation and derives a formula to describe the process. Further, she investigates the variables of the formula in depth to validate the method's suitability...
Denise Reichel studies the delicate subject of temperature measurement during lamp-based annealing of semiconductors, in particular during flash la...
