Entwicklung, Bau und Erprobung einer Mikro-PL-Apparatur

ISBN-13: 9783656309161 / Niemiecki / Miękka / 2012 / 92 str.

Denise Reichel

Opis

Diplomarbeit aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Physik - Experimentalphysik, Note: 1,8, Technische Universitat Bergakademie Freiberg, Sprache: Deutsch, Abstract: Die Grundlage in der Mikroelektronik spielen Halbleiterbaumaterialien, die sich fur ihr jeweiliges Einsatzgebiet aufgrund ihrer diesbezuglichen hervorragenden Eigenschaften auszeichnen. In der vorliegenden Arbeit richtet sich das Augenmerk auf eine optische Charakterisierungsmethode, die Photolumineszenz (PL). Mit ihr konnen u. a. Einflusse verschiedener Prozessschritte (z. B. Tempern der Probe) und mikroskopischer Strukturen (z.B. Micropipes im Siliziumkarbid), die fur die Leistungsfahigkeit des Bauelementes kritisch sind, untersucht werden. Mit der PL bietet sich dem Anwender sowohl die Moglichkeit einer spektralen, lokalen Charakterisierung als auch einer ortsaufgelosten bildlichen Darstellung (Topographie) des Defektinventars der Probe. Die Aufgabe der vorliegenden Diplomarbeit bestand in der Konstruktion und dem Bau einer Mikro-PL. Anhand der Anwendung auf ausgewahlte Materialien soll in dieser Arbeit die Bedeutung der neuen Apparatur verdeutlicht werden. Im Folgenden wird der Leser zunachst in die Grundlagen der Halbleiterphysik und der Photolumineszenz eingefuhrt. Anschlieend wird das Konzept der Mikro-PL vorgestellt und dabei auf Voruberlegungen zum Bau, dessen Umsetzung und auf die aufgetretenen Probleme eingegangen. Weiterhin werden gewonnene Erkenntnisse uber den Apparatebau im Allgemeinen und die Optik im Besonderen prasentiert sowie die Moglichkeiten zur Verbesserung und Optimierung der Leistungsfahigkeit der Mikro-PL-Apparatur aufgezeigt. Der zweite Teil dieser Diplomarbeit beschaftigt sich mit der Anwendung und Bedeutung der Mikro-PL fur verschiedene Materialien. Zunachst werden die binaren Halbleiter Indiumphosphid und Siliziumkarbid untersucht. Daruber hinaus werden die fur die Geodatierung wichtigen Feldspate betrachtet. Abschlieend erwarten den Leser eine Zusammenfassung der im Rahmen die