Schon wenige Jahre nach der Vorstellung des ersten funktionierenden Lasers im Jahr 1960 wurde ein Nd: YAG-Festkorperlaser zum Bohren von Uhrenlagersteinen industriell eingesetzt 1], 2]. Trotzdem ist das Laserbohren heute gegenuber dem Laserschneiden und -schweissen im industriellen Bereich wenig vertreten 3]. Die wesentlichen Ursachen fur die geringere Verbreitung des Laserbohrens liegen in der zu ungenauen Reproduzierbarkeit der Bohrungsdurchmesser und der grossen Konizitat der Bohrungen. Auch Schmelzablagerungen an den Bohrungen machen speziell bei Mikroanwendungen oftmals weiterhin eine...