Ce travail met en A(c)vidence l'importance du silicium poreux en prA(c)sence de tA(c)trachlorure de silicium dans le gettering et le blocage des impuretA(c)s lors de la croissance et l'obtention de couches minces de trA]s grande qualitA(c). La premiA]re partie est consacrA(c)e A une gA(c)nA(c)ralitA(c) sur les propriA(c)tA(c)s des couches minces de Si. Dans la deuxiA]me partie nous prA(c)sentons les propriA(c)tA(c)s du silicium poreux (SP) et son effet de gettering. L'effet de gettering par SP en prA(c)sence du SiCl4 a A(c)tA(c) A(c)valuA(c) par l'augmentation prononcA(c)e de la mobilitA(c)...
Ce travail met en A(c)vidence l'importance du silicium poreux en prA(c)sence de tA(c)trachlorure de silicium dans le gettering et le blocage des impur...