Dieses Buch ist der erste Teil einer auf zwei Bande angelegten Monographie, die in der Absicht entstand, den Fachleuten, die in der Forschung oder Industrie auf den Gebie ten der Werkstoffoberflachen und der diinnen Schichten tatig sind, sowie den Studie renden eine EinfUhrung in die Grundlagen und eine Ubersicht iiber die vieifaltigen Anwendungen und Verfahren der Oberflachen- und Diinnschichttechnologie zu ge ben. Diese Arbeit beruht auf einer langjahrigen Tatigkeit des Verfassers auf dies em Gebiet sowohl in der Industrie als auch an der Hochschule. In ihrem praktischen Einsatz haben...

Viele Hochtechnologie-Anwendungen, an denen mikroelektronische, optische, optoelektronische und magnetische Bauelemente beteiligt sind, beruhen auf oft einzigartigen physikalischen Eigenschaften dunner Schichten. Beschichtungen zum Schutz gegen Verschleiss, Korrosion und Hochtemperaturoxidation verfugbarer und preiswerter Grundwerkstoffe erlauben den rationellen Einsatz von Material, eine kostengunstige Fertigung und sparsamen Energieverbrauch. Durch eine geeignete Oberflachenveredelung kann die Gebrauchsdauer von Werkzeugen und Bauteilen betrachtlich erhoht werden. Bisher fehlte eine...