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Aluminiumnitrid-basierte Sensoren beschreiben detailliert den Entwurf, die Simulation und die Herstellung von MEMS-Akustiksensoren auf AlN-Basis für die Messung hoher Schalldruckpegel, was sowohl für Forscher als auch für Studenten von Vorteil ist, die die Sensorherstellung besser verstehen und in der Sensortechnologie effizienter und produktiver werden wollen. In diesem Buch werden die Eigenschaften verschiedener piezoelektrischer Materialien im Detail verglichen. Es deckt die wichtigsten Merkmale der Halbleiterherstellungsschritte mit praktischen und theoretischen Aspekten ab, was Leser...

Aluminium Nitride based Sensor détaille la conception, la simulation et la fabrication d'un capteur acoustique MEMS à base d'AlN pour la mesure de niveaux de pression acoustique élevés. Il est utile aux chercheurs ainsi qu'aux étudiants qui cherchent à mieux comprendre la fabrication des capteurs et à devenir plus efficaces et productifs dans la technologie des capteurs. Ce livre détaille la comparaison entre les propriétés de différents matériaux piézoélectriques. Il couvre les principales caractéristiques des étapes de fabrication des semi-conducteurs avec des aspects à la...