Photostrom-Spektroskopie von Silicium : Charakterisierung von Eisen kontaminiertem Silicium und Isolator/Silicium-Strukturen mit dem Elymat-Verfahren

ISBN-13: 9783836490887 / Niemiecki / Miękka / 2008 / 232 str.

Mathias Rommel

Opis

Das vorliegende Buch dokumentiert umfassende experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Injektionsabhängigkeit von Photostrom-Messungen. Die Injektionsabhängigkeit der Ladungsträgerlebensdauer von Eisen-kontaminierten bordotierten Siliciumproben wurde mit dem konventionellen Elymat-Verfahren experimentell ermittelt und durch zweidimensionale Simulationen verifiziert. Die dabei gewonnenen Ergebnisse sind von grundlegender Bedeutung für die ebenfalls erfolgte Charakterisierung von Isolator/Silicium-Strukturen mit einem modifizierten Elymat-Verfahren. Erstmals ist es mit dieser Messmethode gelungen, die Grenzflächenzustandsdichte und die Isolatorvolumenladung quantitativ zu bestimmen.Das Buch richtet sich an Ingenieure und Physiker aus dem Gebiet der Halbleiterphysik und -messtechnik.

O autorze

Rommel, Mathias Dr.-Ing., Studium der Elektrotechnik an der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Masterstudiengang Principles of Renewable Energy Use an der Carl-von-Ossietzky-Universität Oldenburg. Gruppenleiter am Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen.