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In recent years great progress has been made in the field of ion implantation, particularly with respect to applications in semiconductors. It would be impos sible not to note the growing interest in this field, both by research groups and those directly concerned with production of devices. Furthermore, as several papers have pointed out, ion implantation and its associated technologies promise exciting advances in the development of new kinds of devices and provide power ful new tools for materials investigations. It was, therefore, appropriate to arrange the II. International Conference on...

In den letzten Jahren erschienen bereits mehrere Bucher zum Thema Ionenimplanta tion, die sich fast ausschliesslich an auf dem Gebiet der Ionenimplantation tatige Wissenschaftler wenden und deshalb der Theorie einen sehr breiten Raum einraumen. Im Gegensatz hierzu wendet sich das vorliegende Werk weniger an den Implanta tionsfachmann, sondern mehr an Forscher und Entwickler in Industrie, F or schungslaboratorien und Hochschulen, die an der Ionenimplantation als neuem Hilfsmittel zur Veranderung von Materialeigenschaften interessiert sind und wissen wollen, ob die Ionenimplantation fur ihr...

Aus den Besprechungen: "Der Autor wendet sich mit diesem Buch an Leser, die Halbleiterkomponenten herstellen wollen. Er versucht einen Mittelweg zu nehmen, indem er sich auf grundlegende Theorien abstutzt, aber auch technologische Prozesse beschreibt. Auch Schwierigkeiten, die entstehen, wenn neu entwickelte Technologien in die Produktion ubergefuhrt werden mussen, verschweigt er nicht. ..." #PTT Bulletin technique/Technische Mitteilungen# ..". Dem Autor dieses Buches ist es gelungen, sowohl die grundlegenden Theorien als auch die technologischen Prozesse und Verfahren...