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Diplomarbeit aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Physik - Experimentalphysik, Note: 1,8, Technische Universitat Bergakademie Freiberg, Sprache: Deutsch, Abstract: Die Grundlage in der Mikroelektronik spielen Halbleiterbaumaterialien, die sich fur ihr jeweiliges Einsatzgebiet aufgrund ihrer diesbezuglichen hervorragenden Eigenschaften auszeichnen. In der vorliegenden Arbeit richtet sich das Augenmerk auf eine optische Charakterisierungsmethode, die Photolumineszenz (PL). Mit ihr konnen u. a. Einflusse verschiedener Prozessschritte (z. B. Tempern der Probe) und mikroskopischer Strukturen (z.B....