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En este trabajo de investigacion se crecieron peliculas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetron sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirolitico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composicion y los enlaces quimicos de las peliculas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectronica de rayos - X (XPS) y espectroscopia de infrarrojo (IR). La morfologia superficial de los recubrimientos se examino por microscopia de fuerza atomica AFM. La dureza y...