Transport Sous Contrainte Me Canique Pour La Microélectronique CMOS » książka
Transport Sous Contrainte Me Canique Pour La Microélectronique CMOS
ISBN-13: 9786131519383 / Francuski / Miękka / 2018 / 244 str.
La course A la miniaturisation des transistors MOS implique de nouvelles technologies d''amA(c)lioration des performances. L''ingA(c)nierie de contrainte mA(c)canique est aujourd''hui devenue une A(c)tape incontournable. Les objectifs de ce travail sont de modA(c)liser les dispositifs des prochains noeuds technologiques et de quantifier l''impact de la contrainte mA(c)canique. La mobilitA(c) est le facteur exploitA(c) pour quantifier les performances et l''un des paramA]tres clA(c)s des simulateurs commerciaux. Ici, le concept de mobilitA(c) effective et de mobilitA(c) de magnA(c)torA(c)sistance dans les MOS courts est analysA(c) et le rAle prA(c)pondA(c)rant des effets non stationnaires est identifiA(c) et quantifiA(c) par des modA]les avancA(c)s. GrA ce au simulateur Monte Carlo MONACO, l''influence de la contrainte sur la structure de bandes et ses rA(c)percussions sur le transport sont A(c)tudiA(c)es. En bande de valence, la mobilitA(c) reste reprA(c)sentative des performances. L''impact de la contrainte sur la mobilitA(c) des trous est A(c)tudiA(c)e par le biais d''expA(c)riences de flexion mA(c)canique. GrA ce des calculs de mobilitA(c) Kubo-Greenwood, les tendances sont expliquA(c)es par les forts couplages existants entre les effets de contrainte et de confinement des trous.
La course à la miniaturisation des transistors MOS implique de nouvelles technologies damélioration des performances. Lingénierie de contrainte mécanique est aujourdhui devenue une étape incontournable. Les objectifs de ce travail sont de modéliser les dispositifs des prochains nœuds technologiques et de quantifier limpact de la contrainte mécanique. La mobilité est le facteur exploité pour quantifier les performances et lun des paramètres clés des simulateurs commerciaux. Ici, le concept de mobilité effective et de mobilité de magnétorésistance dans les MOS courts est analysé et le rôle prépondérant des effets non stationnaires est identifié et quantifié par des modèles avancés. Grâce au simulateur Monte Carlo MONACO, linfluence de la contrainte sur la structure de bandes et ses répercussions sur le transport sont étudiées. En bande de valence, la mobilité reste représentative des performances. Limpact de la contrainte sur la mobilité des trous est étudiée par le biais dexpériences de flexion mécanique. Grâce des calculs de mobilité Kubo-Greenwood, les tendances sont expliquées par les forts couplages existants entre les effets de contrainte et de confinement des trous.
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