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Spectroscopie Térahertz
ISBN-13: 9786131547904 / Francuski / Miękka / 2018 / 228 str.
Nous prA(c)sentons des A(c)tudes sur la spectroscopie tA(c)rahertz des matA(c)riaux en films minces dont les A(c)paisseurs sont infA(c)rieures A la longueur d'onde tA(c)rahertz. Pour obtenir la sensibilitA(c) nA(c)cessaire, nous mettons en oeuvre des techniques de renforcement du champ A(c)lectromagnA(c)tique au voisinage du film mince, grA ce A l'excitation de rA(c)sonances A(c)lectromagnA(c)tiques. AprA]s une introduction, dans la 2A(c)me et la 3A(c)me parties de ce travail, nous prA(c)sentons un A(c)tat de l'art des mA(c)thodes de caractA(c)risation, ainsi que la technique expA(c)rimentale employA(c)e. Dans la quatriA]me partie, nous A(c)tudions comme dispositif de renforcement A(c)lectromagnA(c)tique un guide d'onde en silicium sur lequel est gravA(c) un rA(c)seau de couplage. Nous avons pu dA(c)terminer avec prA(c)cision les paramA]tres diA(c)lectriques de films minces. Nous indiquons comment optimiser ce dispositif pour mesurer des films submicroniques. Dans la derniA]re partie de ce travail, nous A(c)tudions les propriA(c)tA(c)s A(c)lectromagnA(c)tiques d'un rA(c)seau mA(c)tallique A deux dimensions. Nous montrons qu'un tel dispositif permet de caractA(c)riser un film mince posA(c) sur une de ses faces, mais peut aussi servir de filtre spectral pour les ondes tA(c)rahertz.
Nous présentons des études sur la spectroscopie térahertz des matériaux en films minces dont les épaisseurs sont inférieures à la longueur donde térahertz. Pour obtenir la sensibilité nécessaire, nous mettons en œuvre des techniques de renforcement du champ électromagnétique au voisinage du film mince, grâce à lexcitation de résonances électromagnétiques. Après une introduction, dans la 2éme et la 3éme parties de ce travail, nous présentons un état de lart des méthodes de caractérisation, ainsi que la technique expérimentale employée. Dans la quatrième partie, nous étudions comme dispositif de renforcement électromagnétique un guide donde en silicium sur lequel est gravé un réseau de couplage. Nous avons pu déterminer avec précision les paramètres diélectriques de films minces. Nous indiquons comment optimiser ce dispositif pour mesurer des films submicroniques. Dans la dernière partie de ce travail, nous étudions les propriétés électromagnétiques dun réseau métallique à deux dimensions. Nous montrons quun tel dispositif permet de caractériser un film mince posé sur une de ses faces, mais peut aussi servir de filtre spectral pour les ondes térahertz.
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