ISBN-13: 9786131566547 / Francuski / Miękka / 2018 / 236 str.
Les composants passifs A(c)lectro-acoustiques sont des A(c)lA(c)ments critiques des architectures RF. Les plus reprA(c)sentA(c)s sont les filtres A ondes acoustiques de surface (SAW) ou de volume (BAW), qui permettent le filtrage RF (filtre d''antenne). Pour le filtrage de canal, les solutions SAW sont actuellement en place, bien que des travaux rA(c)cents aient montrA(c) l''intA(c)rAat des rA(c)sonateurs A ondes de Lamb pour ce type d''application. Ces derniers composants prA(c)sentent l''avantage d''Aatre compatibles avec une technologie de fabrication de filtres BAW rA(c)alisA(c)s sur membrane suspendue (FBAR), permettant une co-intA(c)gration des deux types de composants A moindre coAt. Toutefois, le choix technologique de STMicroelectronics et du CEA-Leti s''est portA(c) sur une technologie de rA(c)sonateurs BAW rA(c)alisA(c)s sur miroir de Bragg (SMR). Le but de cette thA]se est donc de dA(c)montrer la possibilitA(c) de rA(c)aliser des rA(c)sonateurs reprenant le principe des rA(c)sonateurs A ondes de Lamb, mais co-intA(c)grables avec des BAW-SMR.
Les composants passifs électro-acoustiques sont des éléments critiques des architectures RF. Les plus représentés sont les filtres à ondes acoustiques de surface (SAW) ou de volume (BAW), qui permettent le filtrage RF (filtre dantenne). Pour le filtrage de canal, les solutions SAW sont actuellement en place, bien que des travaux récents aient montré lintérêt des résonateurs à ondes de Lamb pour ce type dapplication. Ces derniers composants présentent lavantage dêtre compatibles avec une technologie de fabrication de filtres BAW réalisés sur membrane suspendue (FBAR), permettant une co-intégration des deux types de composants à moindre coût. Toutefois, le choix technologique de STMicroelectronics et du CEA-Leti sest porté sur une technologie de résonateurs BAW réalisés sur miroir de Bragg (SMR). Le but de cette thèse est donc de démontrer la possibilité de réaliser des résonateurs reprenant le principe des résonateurs à ondes de Lamb, mais co-intégrables avec des BAW-SMR.