ISBN-13: 9786131545061 / Francuski / Miękka / 2018 / 236 str.
L''A(c)laboration de nouveaux revAatements interfA(c)rentiels multicouches est motivA(c)e par la demande de l''astrophysique solaire et par le dA(c)veloppement de nouvelles sources de rayons EUV (source A gA(c)nA(c)ration d''harmoniques d''ordre A(c)levA(c), laser X, rayonnement synchrotron). Nous avons A(c)tudiA(c) et dA(c)veloppA(c) diffA(c)rents systA]mes multicouches possA(c)dant A la fois des propriA(c)tA(c)s optiques optimisA(c)es (rA(c)flectivitA(c) et/ou bande passante) et une bonne stabilitA(c) temporelle et thermique pour la gamme de longueurs d''onde comprise entre =30 nm et =50 nm. Une augmentation significative de la rA(c)flectivitA(c) des multicouches dans la gamme spectrale de 30 A 40 nm a A(c)tA(c) obtenue par l''addition d''un troisiA]me matA(c)riau dans l''empilement. Nous montrons A(c)galement que l''utilisation de ces multicouches A trois matA(c)riaux par pA(c)riode permet le dA(c)veloppement d''empilements rA(c)pondant A des demandes spA(c)cifiques (miroirs A large bande passante, miroirs A double bande). Pour les longueurs d''ondes comprises entre 35 nm et 50 nm nous avons dA(c)veloppA(c) des multicouches A base de scandium.
Lélaboration de nouveaux revêtements interférentiels multicouches est motivée par la demande de lastrophysique solaire et par le développement de nouvelles sources de rayons EUV (source à génération dharmoniques dordre élevé, laser X, rayonnement synchrotron). Nous avons étudié et développé différents systèmes multicouches possédant à la fois des propriétés optiques optimisées (réflectivité et/ou bande passante) et une bonne stabilité temporelle et thermique pour la gamme de longueurs donde comprise entre λ=30 nm et λ=50 nm. Une augmentation significative de la réflectivité des multicouches dans la gamme spectrale de 30 à 40 nm a été obtenue par laddition dun troisième matériau dans lempilement. Nous montrons également que lutilisation de ces multicouches à trois matériaux par période permet le développement dempilements répondant à des demandes spécifiques (miroirs à large bande passante, miroirs à double bande). Pour les longueurs dondes comprises entre 35 nm et 50 nm nous avons développé des multicouches à base de scandium.