1 Einleitung.- 2 Reinigen und Aktivieren von Kunststoffsubstraten.- 2.1 Naßchemische Verfahren.- 2.2 Plasmamodifizieren im Niederdruckplasma.- 2.3 Untersuchungsmethoden zum Charakterisieren plasmamodifizierter Kunststoffsubstrate.- 3 Beschichten von Kunststoffsubstraten mit Metallen.- 3.1 Chemische und elektrochemische Verfahren zum Kunststoffbeschichten.- 3.2 Physikalische Verfahren zum Kunststoffbeschichten.- 4 Die Haftung als Maß für den Verbund von dünnen Schichten.- 4.1 Definition von Haftung und Haftfestigkeit.- 4.2. Modelle für die Haftung von Metallen auf Kunststoffen.- 4.2.1 Grenzschichten zwischen Substrat und Schicht.- 4.3 Einflußgrößen auf die Haftung zwischen Schicht und Substrat.- 4.4 Meßverfahren für die Haftung dünner Schichten auf Kunststoffen.- 5 Versuchsdurchführung.- 5.1 Substratmaterialien.- 5.2 Plasmamodifizieren der Substrate.- 5.2.1 Plasmaätzanlage.- 5.2.2 Versuche.- 5.3 Beschichten.- 5.3.1 LTAVD-Anlage.- 5.3.2 Versuchsdurchführung.- 5.4 Parameter der zum Untersuchen der Schichteigenschaften eingesetzten Verfahren.- 6 Einfluß der Plasmamodifikation auf charakteristische Eigenschaften.- 6.1 Einfluß der Aktivierungsparameter auf den Kontaktwinkel.- 6.1.1 Prozeßdruckabhängigkeit.- 6.1.2 Einfluß der Ätzleistung.- 6.1.3 Variation der Ätzdauer.- 6.1.4 Einfluß der Ätzgasmischung.- 6.1.5 Vergleich der beiden verwendeten Anregungsfrequenzen.- 6.1.6 Einfluß der Lagerzeit an Luft auf den Kontaktwinkel.- 6.2 Einfluß der Aktivierungsparameter auf die chemische Zusammensetzung der Substratoberfläche.- 6.2.1 Einfluß der Lagerzeit an Luft auf das XPS-Meßergebnis.- 6.2.2 Einfluß der Ätzgasmischung.- 6.2.3 Variation der Ätzdauer.- 6.2.4 Einfluß der Ätzleistung.- 6.3 Einfluß der Aktivierungsparameter auf die Oberflächenstruktur der Substrate.- 6.3.1 Einfluß der Ätzgasmischung.- 6.3.2 Variation der Ätzdauer.- 6.3.3 Einfluß der Ätzleistung.- 6.4 Einfluß der Aktivierungsparameter auf die Haftung.- 6.4.1 Einfluß der Ätzgasmischung.- 6.4.2 Variation der Ätzdauer.- 6.4.3 Einfluß der Ätzleistung.- 6.5 Vergleich der Untersuchungs-und Meßergebnisse für die unterschiedlichen Substrat-und Schichtmaterialien.- 7 Zusammenhang zwischen dem Kontaktwinkel, der chemischen Zusammensetzung der Oberflächen und der Haftfestigkeit von abgeschiedenen Metallschichten.- 8 Anwendung der Untersuchungsergebnisse auf den Kunststoff Polycarbonat.- 8.1 Kontaktwinkeländerung durch die Plasmamodifikation.- 8.2 Einfluß der Plasmamodifikation auf die chemische Zusammensetzung der Substratoberfläche.- 8.3 Veränderung der Oberflächenstruktur durch die Plasmamodifikation.- 8.4 Einfluß der Plasmamodifikation auf die Haftfestigkeit.- 9 Zusammenfassung.- 10 Literaturverzeichnis.- Lebenslauf.