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Ellipsométrie Hyperfréquence
ISBN-13: 9783841743251 / Francuski / Miękka / 2018 / 168 str.
Dans la fabrication d'un produit, la maA(R)trise des propriA(c)tA(c)s physiques des matA(c)riaux utilisA(c)s est indispensable. La dA(c)termination de ces propriA(c)tA(c)s passe en gA(c)nA(c)ral par le biais d'autres propriA(c)tA(c)s intermA(c)diaires telles que les propriA(c)tA(c)s A(c)lectromagnA(c)tiques. A cet effet, nous avons mis au point une technique de caractA(c)risation sans contact de matA(c)riaux non transparents, en transposant les concepts de base de l'ellipsomA(c)trie optique en hyperfrA(c)quence. La caractA(c)risation se fait par rA(c)solution d'un problA]me inverse par deux mA(c)thodes numA(c)riques: une mA(c)thode d'optimisation classique utilisant l'algorithme itA(c)ratif de Levenberg Marquardt et une mA(c)thode de rA(c)gression par l'utilisation de rA(c)seaux de neurones de type perceptron multicouches. Avec la premiA]re mA(c)thode, on dA(c)termine deux paramA]tres de l'A(c)chantillon A savoir les indices de rA(c)fraction et d'extinction. Avec la deuxiA]me, on dA(c)termine les deux indices ainsi que l'A(c)paisseur de l'A(c)chantillon. Pour la validation, nous avons montA(c) un banc expA(c)rimental en espace libre A 30 GHz, en transmission et en incidence oblique, avec lequel nous avons effectuA(c) des mesures sur du tA(c)flon et d'A(c)poxy d'A(c)paisseurs allant de 1 A 30 mm.
Dans la fabrication dun produit, la maîtrise des propriétés physiques des matériaux utilisés est indispensable. La détermination de ces propriétés passe en général par le biais dautres propriétés intermédiaires telles que les propriétés électromagnétiques. A cet effet, nous avons mis au point une technique de caractérisation sans contact de matériaux non transparents, en transposant les concepts de base de lellipsométrie optique en hyperfréquence. La caractérisation se fait par résolution dun problème inverse par deux méthodes numériques : une méthode doptimisation classique utilisant lalgorithme itératif de Levenberg Marquardt et une méthode de régression par lutilisation de réseaux de neurones de type perceptron multicouches. Avec la première méthode, on détermine deux paramètres de léchantillon à savoir les indices de réfraction et dextinction. Avec la deuxième, on détermine les deux indices ainsi que lépaisseur de léchantillon. Pour la validation, nous avons monté un banc expérimental en espace libre à 30 GHz, en transmission et en incidence oblique, avec lequel nous avons effectué des mesures sur du téflon et dépoxy dépaisseurs allant de 1 à 30 mm.
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