I. Einleitung.- Literatur.- II. Grundlagen der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 1. Definition und Klarstellung.- 2. Konzeptionen der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 3. Mechanismus der Emission von Röntgenstrahlung.- 4. Methoden der Anregung von Röntgenstrahlen.- 5. Zerlegung der Röntgenstrahlung.- 6. Messung der zerlegten Röntgenstrahlung.- a) Detektoren.- b) Impulshöhenanalyse.- 7. Rolle der Probe (Antikathode).- a) Homogenitätsfragen.- b) Probenoberfläche.- ?) Ebenheit (Rauhigkeit) der Probenoberfläche.- ?) Mikrotomproben, Dünnschicht- und Abdruckverfahren.- ?) Präparat ion nichtmetallischer Proben.- c) Proben aus Biologie und Medizin.- d) Elektrische Leitfähigkeit.- Literatur.- III. Geräte und Untersuchungsmöglichkeiten der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 1. Die Entwicklung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 2. Der Elektronenstrahl-Mikroanalysator.- a) Analysenwertgeber.- b) Meßeinrichtungen.- c) Vergleich einiger Geräte.- 3. Bedingungen zur Bestimmung der Elemente mit Ordnungszahlen unter 12.- 4. Mikrodiffraktion (Beugungserscheinungen).- a) Kosseilinien.- 5. Mikro-Röntgenabsorptionsmessungen.- 6. Kathodenlumineszenz.- 7. Röntgenmikroskopie.- Literatur.- IV. Meß- und Auswerteverfahren.- 1. Grundlagen.- a) Konstanz der Meßbedingungen.- ?) Konstanz des Strahlstroms.- ?) Methoden zur Messung des Strahldurchmessers.- ?) Einfluß der Defokussierung des Strahls.- b) Begriff und Bedeutung der Erfassungsgrenze.- ?) Messung des Zählerrauschens.- ?) Die Bestimmung der Erfassungsgrenzen durch Absolutmessung.- Probenbereitung.- ?) Zusammenfassender Vergleich von Erfassungsgrenzen.- c) Signal-Hintergrundverhältnisse und „Gütezahlen“.- 2. Analysendurchführung.- a) Qualitative Analyse.- b) Quantitative Analyse.- ?) Punktanalyse.- ?) Linienanalyse.- ?) Flächenanalyse.- ?) Dreidimensionale Analyse.- 3. Quantitative Analyse und ihre Probleme.- a) Einführung.- b) Rechenoperationen zur Konzentrationsermittlung.- ?) Rechenbeispiele.- Literatur.- V. Untersuchungsbeispiele.- 1. Qualitative Analyse.- a) Qualitative Punktanalyse.- b) Qualitative Linienanalyse.- ?) Mechanischer Probenvorschub.- ?) Elektronisches Abtasten entlang einer Geraden (Elektronisches Linescanning).- c) Qualitative Flächenanalyse.- 2. Quantitative Analyse.- Literatur.- 3. Literaturanhang.- a) Allgemeines.- b) Metallurgie.- c) Mineralogische Probleme.- d) Biologische Probleme.- e) Nichtmetallische Produkte.- Namenverzeichnis.