Dépots Multicouches Fer/Tungstène Sur Substrat de Fer » książka
Dépots Multicouches Fer/Tungstène Sur Substrat de Fer
ISBN-13: 9786131536830 / Francuski / Miękka / 2018 / 180 str.
L'etude a porte sur la determination, l'elaboration et la caracterisation d'une couche mince limitant le gradient de temperature sous l'effet d'un bombardement electronique. Les materiaux choisis sont le tungstene associe au fer sous sa forme oxyde de fer. Le tungstene est un materiau refractaire avec un haut coefficient de retrodiffusion des electrons. De plus, la magnetite possede un bon coefficient d'emissivite thermique. Ces deux proprietes sont essentielles pour eviter la deformation due au gradient de temperature. L'etude a porte sur les depots de couches minces (systeme bicouche) oxyde de Fe/ W mais aussi alliage Fe-W sur substrat de Fe. Les depots ont ete realises par pulverisation magnetron au moyen d'un generateur a decharge continue (pulsee ou non) avec ou sans l'assistance d'un plasma auxiliaire radiofrequence cree par une antenne interne. Pour tenter d'obtenir une couche mince de Fe3O4, nous avons etudie les oxydations ex-situ apres depots ainsi qu'in-situ pendant ou apres depots (en les comparant entre elles). Les caracterisations ont concerne l'etude de la structure, l'adherence, la composition et la mesure des proprietes optiques infrarouge et thermiques.
Létude a porté sur la détermination, lélaboration et la caractérisation dune couche mince limitant le gradient de température sous leffet dun bombardement électronique. Les matériaux choisis sont le tungstène associé au fer sous sa forme oxyde de fer. Le tungstène est un matériau réfractaire avec un haut coefficient de rétrodiffusion des électrons. De plus, la magnétite possède un bon coefficient démissivité thermique. Ces deux propriétés sont essentielles pour éviter la déformation due au gradient de température. Létude a porté sur les dépôts de couches minces (système bicouche) oxyde de Fe/ W mais aussi alliage Fe-W sur substrat de Fe. Les dépôts ont été réalisés par pulvérisation magnétron au moyen dun générateur à décharge continue (pulsée ou non) avec ou sans lassistance dun plasma auxiliaire radiofréquence créé par une antenne interne. Pour tenter dobtenir une couche mince de Fe3O4, nous avons étudié les oxydations ex-situ après dépôts ainsi quin-situ pendant ou après dépôts (en les comparant entre elles). Les caractérisations ont concerné létude de la structure, ladhérence, la composition et la mesure des propriétés optiques infrarouge et thermiques.
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