Lehrbuch Mikrosystemtechnik

ISBN-13: 9783486579291 / Niemiecki / Miękka / 2008 / 592 str.

Norbert Schwesinger;Carolin Dehne;Frederic Adler

Opis

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunachst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren fur Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erlautert und ein Einblick in die Mess- und Pruftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschlieend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und groeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Ubersicht uber wichtige Schlusselbegriffe sowie Hinweise auf weiterfuhrende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

Spis treści

1;Vorwort;6
2;Inhalt ;8
3;1 Einführung und Anwendungen ;12
4;2 Mechanische Grundelemente ;20
5;3 Fluidische Grundelemente ;50
6;4 Wandler ;76
7;5 Basis-/Substratmaterialien ;174
8;6 Herstellung der Mikrokomponenten ;266
9;7 Konfektionierung der Mikrokomponenten ;482
10;8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsmangenment) ;516
11;9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente ;534
12;Verzeichnis der Schlüsselbegriffe ;570

O autorze

Prof. Dr.-Ing. Norbert Schwesinger ist seit 2000 Professor für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme an der TU München. Zuvor leitete er zehn Jahre lang das Labor für Mikromechanik/Mikrostrukturtechnik an der TU Ilmenau. Carolin Dehne, Pädagogin M.A. arbeitete von 2003 bis 2007 als wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fachgebiet Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München. Zurzeit promoviert sie am FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Dipl.-Päd. Frederic Adler ist seit 2004 Doktorand an der Universität Augsburg, FB Medienpädagogik, wo er seit 2007 auch als wissenschaftlicher Mitarbeiter angestellt ist.