Kategoria BISAC: Technology & Engineering >> Materials Science - Electronic Materials

In diesem Buch werden zunachst die verschiedenen Typen von Plasmen ausfuhrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstutzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenatzen, mit denen heute Oberflachen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfaltige Weise...

In diesem Buch werden zunachst die verschiedenen Typen von Plasmen ausfuhrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstutzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenatzen, mit denen heute Oberflachen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfaltige Weise...

Als Funktionswerkstoffe werden alle Materialien bezeichnet, die nicht als Konstruktionswerkstoffe auf Grund ihres mechanischen Verhaltens, sondern wegen anderer Eigenschaften eingesetzt werden. Dazu gehoren beispielsweise elektrische Leiter, Halbleiter und Supraleiter, aber auch als Aktoren oder Sensoren eingesetzte Werkstoffe wie Formgedachtnislegierungen oder piezoelektrische Materialien. Der Schwerpunkt dieses Lehrbuchs liegt auf den Grundlagen und Funktionsprinzipien und nicht auf der Beschreibung bestimmer Funktionswerkstoffe oder Bauteile. Jedes Kapitel behandelt eine Werkstoffgruppe...