Cet ouvrage concerne l'A(c)tude d'un procA(c)dA(c) MPACVD opA(c)rant en mode pulsA(c) dans un mA(c)lange gazeux constituA(c) principalement de H2-CH4. Le plasma est caractA(c)risA(c) essentiellement par la spectroscopie optique d'A(c)mission rA(c)solue dans le temps et la fluorescence induite par laser (LIF), afin de discerner les phA(c)nomA]nes physico-chimiques rA(c)gissant la cinA(c)tique des espA]ces rA(c)actives responsables du dA(c)pAt de diamant. La tempA(c)rature du gaz mesurA(c)e par LIF A partir de l'A(c)largissement Doppler a permis d'identifier les mA(c)canismes de perte de...