L'effet du substrat a été étudié en utilisant la nanoindentation sur des films minces. Les films mous sur un substrat dur ont montré un empilement plus important que d'habitude, ce qui a été attribué à l'empilement des dislocations à l'interface film-substrat. L'effet de l'émoussement de la pointe sur la profondeur de charge et les courbes de dureté de la nanoindentation a été montré. Les données expérimentales de variation de la dureté Vickers avec l'épaisseur du film et les charges ont été ajustées et de nouveaux paramètres ont été analysés. La zone délaminée a...

Die Auswirkung des Substrats wurde mit Hilfe der Nanoindentation an dünnen Filmen untersucht. Weiche Filme auf hartem Substrat zeigten mehr Anhäufungen als üblich, was auf die Anhäufung von Versetzungen an der Film-Substrat-Grenzfläche zurückgeführt wurde. Die Auswirkung des Abstumpfens der Spitze auf die Lasttiefe und die Härtekurven der Nanoindentation wurde aufgezeigt. Die experimentellen Daten zur Veränderung der Vickershärte mit der Schichtdicke und den Belastungen wurden angepasst und neue Parameter wurden analysiert. Der delaminierte Bereich wurde mit Hilfe geometrischer...