This Book reports design, analysis and synthesis of silicon based carbon monoxide gas sensor using MEMS technology. The emphasis is on investigating the temperature of micro-hotplate to the variation in the power as the analyte is sensitive to specific gas at high temperature. The general approach pursued in this work is to explore the possibility of using micro-hotplate for sensing the gas. For the completion of the sensor design, analysis is the vital part as it shows the temperature distribution in the micro-hotplate. In realizing the aim of the book a silicon based carbon monoxide gas...

Cet ouvrage présente la conception, l'analyse et la synthèse d'un capteur de gaz de monoxyde de carbone à base de silicium utilisant la technologie MEMS. L'accent est mis sur l'étude de la température de la microplaque chauffante par rapport à la variation de la puissance, car l'analyte est sensible à un gaz spécifique à haute température. L'approche générale suivie dans ce travail consiste à explorer la possibilité d'utiliser une microplaque chauffante pour détecter le gaz. Pour compléter la conception du capteur, l'analyse est la partie vitale car elle montre la distribution...

Dieses Buch berichtet über Design, Analyse und Synthese eines auf Silizium basierenden Kohlenmonoxid-Gassensors mit MEMS-Technologie. Der Schwerpunkt liegt auf der Untersuchung der Temperatur der Mikro-Heizplatte auf die Variation in der Leistung, wie der Analyt ist empfindlich auf bestimmte Gas bei hohen Temperaturen. Der allgemeine Ansatz, der in dieser Arbeit verfolgt wird, besteht darin, die Möglichkeit der Verwendung von Mikro-Heizplatten für die Gassensorik zu untersuchen. Für die Vervollständigung des Sensordesigns ist die Analyse der Temperaturverteilung in der Mikro-Heizplatte...