Die Maßhaltigkeit von Beschichtungen ist für den Einsatz des Extremen Hochgeschwindigkeits-Laserauftragschweißens als Beschichtungsverfahren aufgrund des Nachbearbeitungsaufwands von Bedeutung. Nach Qualifizierung einer Maschinen- und Messtechnik wird die Wirkung der Prozesseinflussgrößen auf die Oberflächenbeschaffenheit von Beschichtungen untersucht. Für Beschichtungen aus Inconel 625 werden Rauheitskenngrößen ausgewertet sowie erstmalig Strukturgrößen und ihre Entstehungsursachen analysiert.