Il s'agit de notre livre sur la conception d'un système JNSP automatisé pour les applications de dispositifs à couches minces. Au cours de mes recherches, j'ai pu constater que suffisamment de travaux ont déjà été réalisés sur la fabrication et la caractérisation des films minces, mais que les recherches sur l'amélioration de la qualité des films minces et les paramètres nécessaires pour isoler des films minces de bonne qualité sont moins nombreuses. Nous avons donc conçu un système automatisé de pyrolyse par pulvérisation avec nébuliseur à jet (JNSP) et isolé certains...