Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prufverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergrundet werden konnen. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flussigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus lassen sich die moglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammenstellen und die verfugbaren Messtechniken fur Partikel in Flussigkeiten kritisch beurteilen. Auf der Basis dieser...