Diplomarbeit aus dem Jahr 1999 im Fachbereich Ingenieurwissenschaften - Maschinenbau, Note: 3, Universitat Hamburg, Sprache: Deutsch, Abstract: In der heutigen Zeit werden in immer mehr Geraten Halbleiterbauelemente eingesetzt. Unter der Zielsetzung, moglichst viele Strukturen auf einer Flache unterzubringen, haben sich Atztechniken zu einem der wichtigsten Werkzeuge bei der Herstellung von Halbleiter-Mikrostrukturen entwickelt. Jede Weiterentwicklung der Atztechnik erlaubt die genauere Kontrolle der Atzrate, der Selektivitat, der Flankensteilheit, der immer besseren Reproduzierbarkeit des...