IIm Mittelpunkt der Arbeit stand die Entwicklung piezoelektrisch angetriebener Mikrospiegel. Dabei handelt es sich um miniaturisierte, optische Bauteile zur Ablenkung von Laserstrahlen, mit denen sich z. B. Bildprojektionen realisieren lassen. Die Arbeit umfasst die Design- und Technologieentwicklung derartiger Mikrospiegel, sowie die Entwicklung von Sensoren zur Spiegelpositionserfassung. Zudem bildet die eingehende Charakterisierung einen weiteren Schwerpunkt dieser Arbeit. Insgesamt wurden 30 verschiedene 1D-Spiegel, elf verschiedene 2D-Spiegel sowie drei unterschiedliche Sensor-Typen...