Ce livre presente une etude fondamentale des effets de la charge electrique lors d'irradiation d'echantillons de films minces de polymeres organiques isolants par des ions de cesium. Le but de ce travail est de mieux comprendre les modifications des proprietes physico-chimiques induites, dans les films de polymeres isolants soumis au profilage ionique en spectrometrie de masse d'ions secondaires (SIMS). L'etude des distributions energetiques des ions secondaires prouve que, l'accumulation de la charge electrique a la surface des echantillons provoque le claquage dielectrique des films minces...