Der Siliciumauflöseprozess in Flusssäure-Salpetersäure-Schwefelsäure/Wasser-Lösungen unterscheidet sich vom Ätzprozess in Flusssäure-Salpetersäure-Wasser-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivität gegenüber Silicium, erzielte Oberflächenmorpholgien sowie die beim Ätzen entstehenden gelösten und gasförmigen Produkte. Die Behandlung von Siliciumwafern in Schwefelsäure-reichen Ätzlösungen erzeugt Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion. mc-Si-Solarzellen texturiert durch eine Schwefelsäure-reiche Ätzlösung weisen vergleichend zu Solarzellen mit...