Das vorliegende Studienskriptum "Halbleitertechnologie" sol1 das physika lische, chemische und technische RUstzeug vermitteln, das bei der Her stellung diskreter und integrierter Halbleiterbauelemente notwendig ist. Das Buch ist aus den Unterlagen zu einer einsemestrigen Vorlesung glei chen Titels entstanden, die fUr Studierende der Elektrotechnik im 6. Se mester, insbesondere der Hochfrequenztechnik, der Elektronik und der Elektrophysik, an der Technischen Universitat Braunschweig gehalten wird. Zum Verstandnis dieses Skriptums wird yom Leser nur die Kenntnis der ele mentaren Grundlagen der...