El presente trabajo tiene como objetivo el estudio de las propiedades estructurales, opticas y electricas de las peliculas de oxido de silicio rico en silicio (SRO), para su posible aplicacion a dispositivos optoelectronicos, y de esta forma contribuir con nuevos conocimientos de las propiedades de las peliculas de SRO. Las peliculas de SRO con diferentes excesos de silicio se depositaron mediante LPCVD (Deposito Quimico en Fase Vapor a Baja Presion), posteriormente algunas muestras fueron tratadas termicamente a diferentes tiempos y temperatura. En estas peliculas se analizaron las...