El presente libro describe las caracteristicas fundamentales de los procesos tecnologicos que se utilizan en la fabricacion de dispositivos semiconductores, especialmente los dispositivos de silicio. Tambien analiza aspectos basicos de la fisica que le sirven de base a los diferentes procesos. Aspectos generales de fabricacion, como caracteristicas de las areas limpias, pureza requerida en los diferentes materiales y tipos de equipamiento utilizado en los diferentes procesos tecnologicos, tambien se discuten. El contenido esta orientado a estudiantes de las especialidades de Electronica y...
El presente libro describe las caracteristicas fundamentales de los procesos tecnologicos que se utilizan en la fabricacion de dispositivos semiconduc...