Schwerpunkt dieses Buches ist der Aufbau und die Inbetriebnahme einer vielseitigen Vakuum-Beschichtungsanlage auf Basis der Magnetron Sputterdeposition. Der simultane Betrieb mehrerer Beschichtungsquellen und die spezielle Prozessfuhrung des seriellen Co-Sputterns erlauben eine kombinatorische Materialsynthese mit stufenlos variabler Stochiometrie (oder variablem Dotierungsgrad). Zudem ermoglicht eine ausgeklugelte Gasseparation eine gegenuber dem konventionellen Co-Sputtern kontrollierbarere Prozessfuhrung. Dadurch ist die Herstellung funktioneller Schichten sowie die Abscheidung von...