Inhaltsangabe: Einleitung: Das Institut fur Mikrosensoren, -aktuatoren und Systeme IMSAS beschaftigt sich unter anderem mit der Entwicklung von Drehratensensoren, deren Strukturen Abmessungen im mu-m Bereich haben. Drehratensensoren (Gyroskope) dienen durch die Messung von Winkelgeschwindigkeiten der Stabilisierung von Systemen und finden neben dem KFZ-Bereich und der Medizintechnik unter anderem Anwendung bei der Steuerung von Navigationssystemen. Die Antriebsstrukturen werden uber eindimensionale Resonatoren realisiert, die zur Nachbildung der Antriebsmoden von Drehratensensoren...