Les nanofils de silicium presentent un fort potentiel technologique, qui ne se revele que lorsque la taille des objets est bien maitrisee. L'obtention de ces structures par Depot Chimique en phase Vapeur est realisee par croissance catalysee a partir de precurseurs du silicium chlores ou hydrogenes. On detaille ici les effets du chlore sur la passivation des surfaces de silicium et des flancs des nanofils. Cette passivation ralentit la diffusion du catalyseur (Au) sur la surface mais ne change pas la cinetique de la croissance (axiale) du fil. On obtient ainsi une croissance reproductible et...