La combinaison de la technologie des plasmas froids avec les mA(c)thodes de micro et nanofabrication ouvre de nouvelles perspectives pour l''A(c)laboration de nouveaux microsystA]mes microfluidiques dA(c)diA(c)s A l''analyse biologique, mA(c)dicale et environnementale. L''industrialisation des BioMEMS passera trA]s probablement par la rA(c)alisation de la quasi- totalitA(c) des A(c)tapes de fabrication par une suite de procA(c)dA(c)s plasmas froids automatisA(c)s, principalement A pression atmosphA(c)rique. Au-delA des rA(c)sultats expA(c)rimentaux et des dA(c)veloppements concernant les...