Sensoren zum Erfassen von physikalischen GroBen, wie etwa Temperatur, Druck, Filllstand oder Drehzahl, spielen in wei ten Bereichen von Technik und Wissen schaft eine wichtige Rolle. Der filr derartige Sensoren sti: indig wachsende Markt, der Wunsch nach preisgilnstigeren Fertigungsmoglichkeiten und der Bedarf an Sensoren filr neuartige Aufgabenstellungen haben in den letzten J ahren weltweit einen Sensor-Boom ausgelost. Das drilckt sieh neben gesteigerten Entwicklungs aktiviUiten auch in zunehmenden Zahlen von Beitragen in Fachzeitschriften und auf Fachtagungen ebenso aus wie in...